廣州潽拓光電科技有限公司--ULVAC高真空分子泵清潔保養(yǎng)維修；
渦輪分子泵的工作原理，結(jié)構(gòu)型式及其優(yōu)缺點(diǎn)。
為了利用渦輪分子泵，獲得清潔真空，國外多利用干式機(jī)械泵作其前級泵，構(gòu)成無油的真空系統(tǒng)。然而，目前國內(nèi)渦輪分子泵多以油封機(jī)械泵為其前級泵，構(gòu)成了有油真空系統(tǒng)，如果操作不當(dāng)，很難避免油蒸汽返流，對真空系統(tǒng)的污染。利用有油系統(tǒng)獲得清潔真空，國內(nèi)外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作經(jīng)驗(yàn)。
應(yīng)用：當(dāng)今，現(xiàn)代化的半導(dǎo)體行業(yè)中，越來越多地應(yīng)用渦輪分子泵。如濺射、刻蝕、蒸發(fā)、注入、分子束外延、離子加工等設(shè)備都需要在真空環(huán)境下運(yùn)行。又如電子顯微鏡，表面分析儀器，殘余氣體分析儀及氦質(zhì)譜檢漏儀等也經(jīng)常使用渦輪分子泵來抽真空。此外，在宇宙模擬設(shè)備、核聚變裝置、太陽能集熱管鍍膜生產(chǎn)線上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來代替油擴(kuò)散泵系統(tǒng)，以防止油蒸汽的污染。
因此，很近十幾年來，渦輪分子泵，在國內(nèi)、外都得到了顯著的改進(jìn)和發(fā)展。在渦輪分子泵的應(yīng)用日益增加干式的前級泵還沒有大量普及和應(yīng)用的情況下，有時(shí)還不得不用油封機(jī)械泵來作渦輪分子泵的前級泵。因此，針對這種現(xiàn)狀，對渦輪分子泵的合理選用和正確操作是很重要的。
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在高真空抽氣過程的起始階段，泵的很大的未經(jīng)烘烤的內(nèi)表面會(huì)吸附水，然后再在較低的壓力下重新釋放出來。這種效應(yīng)在無閥門的系統(tǒng)中更為明顯，因?yàn)樗赡鼙任幢┞对趬毫Ω哂?50Pa的空氣環(huán)境的有閥門的系統(tǒng)吸附更多的水蒸氣。系統(tǒng)停機(jī)時(shí)，先關(guān)閉高真空閥，如果有液氮冷阱的話，還要將冷阱加熱。在冷阱達(dá)到平衡溫度后，關(guān)掉前級管道閥，再切斷渦輪分子泵電動(dòng)機(jī)的電源，使分子泵的轉(zhuǎn)子減速。
一般來說，泵轉(zhuǎn)子完全停止需要十分鐘或更長的時(shí)間。在分子泵轉(zhuǎn)子減速期間，來自前級管道的碳?xì)浠衔锖蜏u輪分子泵的潤滑油蒸氣會(huì)迅速地向泵的進(jìn)氣口上方區(qū)域擴(kuò)散。為了防止機(jī)械泵油蒸氣和渦輪分子泵潤滑油蒸氣的返流，在切斷渦輪分子泵電動(dòng)機(jī)的電源后，要用一股干燥的反向氣流對分子泵進(jìn)行放氣。
例如，應(yīng)該在泵轉(zhuǎn)子速度下降到很大轉(zhuǎn)速的50%左右時(shí)，在泵進(jìn)氣口上方的某處或在轉(zhuǎn)子組件上部連續(xù)充入氣或氮?dú)猓钡奖脙?nèi)壓力達(dá)到大氣壓。通過從閥門3（見圖1）充入氣體就可適當(dāng)?shù)赝瓿蛇@一操作。當(dāng)渦輪分子泵以額定速度運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，不應(yīng)經(jīng)常充入壓力為大氣壓的氣流。這樣做對軸的壽命是不利的。當(dāng)前級管道閥關(guān)閉后，即可關(guān)掉機(jī)械泵系統(tǒng)，并用放氣閥對機(jī)械泵內(nèi)進(jìn)行放氣。停機(jī)后應(yīng)立即關(guān)掉冷卻水以防止內(nèi)部冷凝。在正常工作時(shí)，可把水溫調(diào)節(jié)到略高于來消除泵體外部可能形成的冷凝物。
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實(shí)驗(yàn)與分析氦質(zhì)譜檢漏儀工作在不同的分子泵轉(zhuǎn)速下，在儀器的檢漏口連接標(biāo)漏信號，檢測氦質(zhì)譜檢漏儀在不同分子泵轉(zhuǎn)速下，所獲得的信號值。
實(shí)驗(yàn)器材：
(1)氦質(zhì)譜檢漏儀SFJ-231,1臺(tái)；
(2)滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔（3.0×10-10Pa.m3/s),1只；
(3)滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔（1.5×10-Pa.m/s),1只；
(4)標(biāo)準(zhǔn)漏孔TL4-6,1只。
實(shí)驗(yàn)步驟：
(1)開啟氦質(zhì)譜檢漏儀；
(2)儀器進(jìn)入檢漏狀態(tài)運(yùn)行2h后；
(3)儀器按下停止鍵，儀器進(jìn)入待機(jī)狀態(tài)(4)進(jìn)入儀器的參數(shù)設(shè)置，將分子泵的轉(zhuǎn)速設(shè)定為1500Hz；
(5)待儀器進(jìn)入待機(jī)狀態(tài)
(6)將滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔(3.0×100Pa.mYs)連接在檢漏口；
(7)檢漏儀按開始鍵，檢測儀器的顯示值，并記錄；
(8)儀器按下停止鍵后按下開始鍵，再次檢測儀器的顯示值，共記錄3次數(shù)據(jù)(9)儀器在待機(jī)狀態(tài)，進(jìn)入儀器的參數(shù)設(shè)置，將分子泵的轉(zhuǎn)速設(shè)定為1000Hz；
(10)重復(fù)7、8步驟；
(11)進(jìn)入儀器的參數(shù)設(shè)置，將分子泵的轉(zhuǎn)速設(shè)定為1500Hz；
(12)在儀器檢漏口連接滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔(1.5X10*Pa.ms)1只；
(13)重復(fù)7、8、9、10步驟(14)進(jìn)入儀器的參數(shù)設(shè)置，將分子泵的轉(zhuǎn)速設(shè)定為1500Hz；
(15)在儀器檢漏口連接標(biāo)準(zhǔn)漏孔TL4-6(16)重復(fù)7、8、9、10步驟。
(16)重復(fù)7、8、9、10步驟。
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